|
斐索型激光干涉仪，具有专利的环形光源伪迹消除抑制技术，是一种高 精度、共光路面形计量干涉仪。 ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire 激光干涉仪，继承了工业标准GPI 激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO领先技术的集中体现。 Zygo最新推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。 精确的抗振干涉仪系统易于使用，易于使用。 ZYGO的Verifire™ 干涉仪系统可对平面或球面进行快速高精度测量，并可传输光学系统和组件的波前。 测量玻璃或塑料光学元件 - 如平面，透镜和棱镜 - 甚至精密加工的金属和陶瓷表面。 作为真正的激光Fizeau设计，Verifire™系统扩展了ZYGO在表面形状测量方面无与伦比的经验。 轴上配置与ZYGO的专利采集算法和全功能Mx™计量软件相结合，可实现具有高级分析功能的高精度表面形状测量。 动态世界的自信计量ZYGO提供的技术可在恶劣的环境中进行可靠的测量，在这些环境中振动和空气湍流可能非常极端。 QPSI™抗振干涉测量消除了腔内小振动引起的相位数据纹波，同时保持了高精度的轴上测量配置。 ZYGO专有的QPSI数据采集由ZYGO制造的高功率HeNe激光源和专利软件算法实现 - 没有其他振动容限采集技术可比。 DynaPhase ®振动不敏感的干涉冻结振动和空气湍流，使计量在极端环境中。获得专利的原位校准可确保精确度和无法匹配的计量信心。 新的DynaPhase®采集模式现已作为Verifire系统上的选项，增加更多的价值，以这个主力干涉。 稳定，长寿命，高功率激光ZYGO专有的激光源是在康涅狄格州米德尔菲尔德设计和制造的。激光器超过了通常用于激光干涉仪产品的市售HeNe激光器的功率和寿命。 我们的激光器具有超过60,000小时的使用寿命，可提供无与伦比的3年保修，最大限度地减少停机时间并最大限度地提高您的投资回报率。 Verifire系统与标准ZYGO 干涉仪配件兼容，扩展了系统的多功能性。这包括我们的ZYGO认证参考光学元件，确保我们的激光干涉仪具有最佳性能。 比较受振动影响的表面测量，以及使用QPSI™技术测量的相同表面。
两种模式下测试有振动的腔
PSI模式 13位计算法 QPSI模式 5ms快门速度
注： 1 给出的环境参数是指可以操作使用的环境，不代表仪器要达到最好性能所需要的环境要求。 2 仅在MetroProX软件中有QPSI测量模式。 3 简单RMS重复性定义为对一个4英寸平面短腔，做36次连续测量（每次16次相位平均），所测得的RMS的标准差的2倍。 4 波前RMS重复性定义为，把测得的均方根差的平均值加上标准差的2倍作为波前RMS重复性。其中标准差定义为把奇数次测量的均值作为参考值， 而把偶数次测量值相对于此均值求得标准差；计算基于36次连续测量（每次16次相位平均）。
5 像素峰值偏差:定义为对于36次连续测量（每次16次相位平均），取图像峰值标准差的99.5%；这个结果测量系统随时间变化的行为（或者A类不确定性）。
|
