ACC-S1000放大倍率样板
该系列标样既可用于扫描电镜，也可用于光学显微镜（包括普通光学显微镜和激光共焦显微镜）的放大倍率校准。
1、栅格最小分辨率：1μm（可加订0.25μm）
2、规格： 40μm、20μm、10μm、5μm和1μm的线距
型号：ACC-S1000 货号：10810001
技术参数：
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光栅区域
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大方格 |
中方格 |
A |
B |
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x向水平栅距
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2000.6μm
±2μm |
1200.4μm
±1μm |
40000.6
±4nm |
20000.4
±2nm |
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及不确定度
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y向水平栅距
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2000.6μm
±2μm |
1200.4μm
±1.2μm |
40000.6
±5nm |
20000.4
±3nm |
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及不确定度
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正交性
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90 |
90 |
90 |
90 |
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及不确定度
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± 0.01º |
± 0.01º |
± 0.01º |
± 0.01º |
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栅距非均匀性
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- |
- |
≤0.2％ |
≤0.3％ |
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(包括不同模版间)
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光栅区域
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C |
D |
E1 |
E2 |
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x向水平栅距
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10000.2nm
±2nm |
5000.0nm
±1.5nm |
2000.4nm
±1nm |
1000.4nm
±0.8nm |
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及不确定度
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y向水平栅距
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10000.2 nm
±1.5nm |
1000.0nm
±1nm |
1000.4nm
±1nm |
1000.4nm
±0.9nm |
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及不确定度
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正交性
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90 |
- |
- |
- |
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及不确定度
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± 0.01º |
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栅距非均匀性
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≤0.3％ |
≤0.5％ |
≤1％ |
≤1.5％ |
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(包括不同模版间)
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